Електронни и йонни технологии

В книгата се разглеждат физичните явления, свързани с генерирането на мощни електронни и йонни снопове. Систематизирани са основните резултати от взаимодействието между ускорените електрони и йони и различните материали. Обсъдено е как се нанасят тънки слоеве чрез методите на йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. Анализирани са процесите за обработка на микроелектронни структури, включително йонно ецване, имплантация на йони и литография с помощта на електрони и йони. Предоставени са данни относно съвременните техники за анализ на повърхности и микроструктури посредством тези снопове. Освен това, описани са текущото състояние, протичащите процеси и успехите в областта на електроннолъчевото заваряване, топене и рафиниране, както и модификацията на повърхности чрез електроннолъчеви или йоннолъчеви методи. Включена е информация за конструкцията и работния принцип на използваните устройства; представени са подходи за избор на технологичните параметри; изложени са алгоритми за компютърното моделиране на процесите, а също така се обсъждат резултатите от числени експерименти проведени от автора в сътрудничество с колеги.