Електронни и йонни технологии

В книгата са описани физичните процеси при генериране на интензивни снопове от електрони и йони. Систематизирани са основните резултати от технологичното взаимодействие на ускорени електрони и йони с материалите. Разгледано е нанасянето на тънки слоеве с йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. Описаните са процесите на обработка на микроелектронни структури с йонно ецване, йонна имплантация, електронна и йонна литография. Дадени са данни за съвременните методи за анализ на повърхности и микроструктури с електронни и йонни снопове. Описани и анализирани са протичащите процеси, съвременното състояние и постиженията на електроннолъчевото заваряване , на електроннолъчевото топене и рафиниране, както и на електроннолъчевата и йоннолъчевата повърхностна модификация на материали. Дадени са данни за конструкцията и принципа на работа на устройствата, описани са методики за избор на технологичните режими; приведени са алгоритми за компютърно моделиране на процесите и са обсъдени резултати от проведени от автора и сътрудници числени експерименти.